在高温石墨化炉的石墨化热处理期间，以化学方法除去制品内杂质元素及其化合物，获得高纯石墨制品的过程称为高纯石墨化。

    在普通石墨化温度下，石墨材料中部分高沸点杂质化合物难以气化逸出，如碳化硼的沸点为3500℃，碳化钒的沸点为3900℃，钛的沸点为3287℃，除去这些高沸点的杂质是很困难的。但大多数的金属卤化物具有很低的熔点和沸点，因此，可以采取氟化或氯化化学反应将这些高沸点杂质化合物转化为易分解逸出的金属卤化物，从而可制备得到低杂质含量的高纯石墨材料。

    在石墨化时，向炉中通入氯气或氟里昂作为纯化气体，其在高温下分解为元素氟和氯，这些化学性活泼的卤元素与石墨制品内的各种杂质元素及其化合物发生反应，结合生成熔点和沸点都很低的卤化物而气化逸出。

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