CVD气相沉积炉

化学气相沉积炉应用领域

化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。

化学气相沉积炉产品规格

产品型号/规格W×H×L(mm)	600*600*1000	800*800*1200	1000*1000*1500	1200*1200*2500	1500*1500*3000	2500*2000*3600
装载重量(KG)	350	800	1500	2500	5000	10000
最高温度(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性(℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
加热功率(kw)	250	360	480	600	900	1200
极限真空度(Pa)	20	20	20	20	20	20
压升率(Pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。

化学气相沉积炉主要配置

炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

真空泵和真空计---进口/国产

PLC：欧姆龙/西门子

控温仪表：日本岛电/英国欧陆

热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产

人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机

电器元件：正泰/施耐德/西门子

料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车

化学气相沉积炉技术特征

本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；

本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。